A03微电子与微光刻技术_中科院_16讲

微电子技术工艺基础——微光刻与微/纳米加工技术，是人类迄今为止能够达到纳米级精度的加工技术，其加工设备和加工工艺也在不断发展以满足芯片加工从微米到纳米尺度的需求。一旦将电子元件作到纳米量级，其芯片的运行速度和内存都将大幅度提高，从而为未来的单电子计算机或纳米计算机的设计与实现开辟一条新的途径。

内容版权声明：除非注明，否则皆为本站转载文章。文章及图片版权归原作者所有，如有侵权请联系我们，我们立刻删除。