半导体工艺与器件TCAD案例教学

课程目标

本课程是一门专业综合性实践教学课程，适合半导体、微电子以及电子与科学等专业大学本科生及研究生，配合学习半导体物理，半导体工艺，微电子工艺，半导体器件，集成电路电子学，以及研究生阶段的高级半导体物理与器件等课程。
完成本课程的学习，可以使学生掌握半导体器件与集成电路工艺制备流程，掌握半导体器件结构组成及编辑的方法，掌握各种先进半导体器件工作特性，为实现半导体器件工艺流程的知识掌握和器件工程实践能力提高打好坚实基础。

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