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陶瓷传感器

2023-04-04 20:45自然百科人已围观

[拼音]：taoci chuanganqi

[外文]：ceramic transducer

用精细陶瓷材料制成的传感器。这种陶瓷材料包括氧化物、碳化物、氮化物、硫化物以及它们的复合化合物的多晶烧结体、厚膜和薄膜。陶瓷传感器能检测气体、离子、热、光、声、位置和电磁场等。其中气敏、湿敏、热敏方面的传感器多用半导体氧化物陶瓷材料制成，声敏、力敏、加速度和红外敏感方面的传感器多用铁电压电陶瓷材料。有的用一种材料完成多种敏感功能，有的将几种陶瓷材料组合一起制成多功能组合式陶瓷传感器。通过化学气相沉积、物理气相沉积或其他工艺技术能制成高灵敏度的薄膜，与其他材料相互组合成为陶瓷功能薄膜传感器，还可以同半导体集成电路复合实现信息检测一体化。陶瓷传感器发展非常迅速。